ในการผลิตวงจรรวมขนาดใหญ่ หลังจากแต่ละขั้นตอน จะต้องล้างด้วยน้ำ เนื่องจากเมื่อทำการผลิตไมโครไฟเบอร์ระดับไมครอน จำเป็นต้องหลีกเลี่ยงการสัมผัสกับสิ่งเจือปนซึ่งจะทำให้ประสิทธิภาพของเซมิคอนดักเตอร์เสื่อมลง และเพื่อป้องกันไม่ให้สิ่งสกปรกเข้าสู่ท่อก๊าซ เพื่อให้บรรลุเป้าหมายนี้ น้ำที่ใช้สำหรับชำระล้างจะต้องทำให้บริสุทธิ์และเตรียมด้วยเครื่องทำน้ำบริสุทธิ์พิเศษอย่างเข้มงวด
น้ำบริสุทธิ์พิเศษที่จำเป็นในการผลิตวงจรรวมขนาดใหญ่ไม่สามารถหาได้จากธรรมชาติ และต้องเตรียมด้วยเครื่องทำน้ำบริสุทธิ์พิเศษหรือวิธีการอื่น การกลั่นน้ำบริสุทธิ์พิเศษแบ่งออกเป็นการบำบัดน้ำบริสุทธิ์และการบำบัดน้ำบริสุทธิ์ขั้นที่สอง โดยทั่วไป การบำบัดน้ำบริสุทธิ์แบบรวมศูนย์ที่จ่ายให้กับแต่ละเวิร์กช็อปโดยเครื่องทำน้ำบริสุทธิ์พิเศษ Smart-S คือการบำบัดน้ำบริสุทธิ์ และการบำบัดที่ดำเนินการโดยแต่ละเวิร์กช็อปคือการบำบัดน้ำบริสุทธิ์ขั้นที่สอง
แหล่งน้ำที่ทำให้บริสุทธิ์ด้วยเครื่องทำน้ำบริสุทธิ์พิเศษ ได้แก่ น้ำประปาในเมือง น้ำอุตสาหกรรม น้ำในแม่น้ำ น้ำบาดาล น้ำบาดาล ฯลฯ การปรับสภาพเช่นการกรองควรดำเนินการตามลักษณะของแหล่งน้ำและน้ำ จากนั้น ควรใช้เมมเบรนที่ซึมผ่านได้และการแลกเปลี่ยนไอออน เมมเบรนจะขจัดสารแขวนลอยละเอียดและสารที่ละลายในนั้นเพื่อเป็นตัวอย่างเพื่อให้ได้คุณภาพน้ำที่จำเป็นในการผลิตวงจรรวม น้ำบริสุทธิ์ที่เตรียมโดยเครื่องทำน้ำบริสุทธิ์พิเศษนั้นสะอาดมากอยู่แล้ว แต่สารอื่นๆ ละลายได้ง่ายมาก ดังนั้นในระหว่างการจัดเก็บและขนส่ง คุณต้องระวังไม่ให้เกิดการปนเปื้อนซ้ำ
เพื่อให้แน่ใจว่าคุณภาพน้ำเป็นไปตามข้อกำหนดอย่างเต็มที่ จำเป็นต้องมีการกลั่น ณ สถานที่ใช้งาน กล่าวคือ การบำบัดน้ำบริสุทธิ์ขั้นที่สองของเครื่องทำน้ำบริสุทธิ์พิเศษ มีการติดตั้งอุปกรณ์บำบัดน้ำบริสุทธิ์สำรองในหรือใกล้กับห้องอัลตร้าคลีนที่ผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เครื่องทำน้ำบริสุทธิ์พิเศษ Smart-S ที่จำเป็นสำหรับการบำบัดน้ำบริสุทธิ์ขั้นที่สอง ได้แก่ อุปกรณ์ฆ่าเชื้อด้วยรังสีอัลตราไวโอเลต อุปกรณ์แลกเปลี่ยนไอออนของตลับเทปที่ไม่สร้างใหม่ ตัวกรองขนาดเล็กและตัวกรองเมมเบรนกรองพิเศษ ฯลฯ หลังจากชุดของการเตรียมที่เข้มงวดดังกล่าว น้ำบริสุทธิ์พิเศษที่ได้รับสามารถตอบสนองได้ ความต้องการน้ำในการผลิตวงจรรวม
